
在半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃、精密元器件等高1端制造領(lǐng)域,1μm 以下微氣泡、微劃痕、內(nèi)部異物、表面霧度,一直是困擾目視檢測的 “隱形殺手"。普通照明亮度不足、光路不均、易漏檢誤檢,嚴重拉低良率與品質(zhì)。
采用定制高輝度鹵素燈,搭配大口徑非球面透鏡,中心亮度最高可達60 萬 lux,光路規(guī)整、平行度優(yōu)異,微弱瑕疵瞬間強化對比。
亮度與照射徑成平方反比,小光斑更高亮,按需調(diào)節(jié)不浪費光效。
非球面透鏡優(yōu)化設(shè)計,UIH?1/2/3 亮度型 F 值0.78–0.92,高亮聚光;UIH?1H 專用霧度檢測型F=2,聚焦成像,投射 3 條檢測標記,靠對比度精準判定晶圓霧度。
拋物面冷反光鏡,光效更高、散熱更優(yōu),長時間穩(wěn)定工作。
燈箱與電源分體設(shè)計,散熱獨立、操作更安全。
強制空冷 + 過熱監(jiān)控:UIH?2/3 型超溫自動熄燈,冷卻至 40℃自動停扇,全面保護光源與設(shè)備。
緩啟緩滅點燈邏輯,大幅延長燈泡壽命,最高輝度壽命50–75 小時,半輝度壽命最長1800 小時,降低使用成本。
照射徑、高度、角度自由可調(diào),支架分自立型 (UIH?1/1H) 與獨立型 (UIH?2/3),適配不同工位與檢測臺。
SCR 相位控制調(diào)光,50/60Hz 自動適配,亮度寬幅可調(diào),滿足不同材質(zhì)與缺陷檢測需求。
| 型號 | 功率 | 典型亮度 | 核心用途 |
|---|---|---|---|
| UIH?1C/H | 15V 150W | 中心 60 萬 lux | 通用微瑕疵 / 晶圓霧度專用檢測 |
| UIH?2C | 100V 300W | 中心 40 萬 lux | 中大面積光學(xué)件、玻璃檢測 |
| UIH?3C | 100V 650W | 中心 30 萬 lux | 大尺寸晶圓、面板、精密組件檢測 |
不透明鏡面體(晶圓 / 金屬 / 掩膜):斜射查表面塵點、劃痕;反射查起伏、微裂紋。
透明材料(玻璃 / 透鏡 / 石英):垂直 / 斜射,表面 + 內(nèi)部缺陷同時觀測,微氣泡、雜質(zhì)一目了然。
特殊場景:室內(nèi)浮塵檢測、透明容器化學(xué)反應(yīng) / 混合狀態(tài)觀測、拋光晶圓霧度判定。
看得清:丁達爾效應(yīng) + 超高輝度,1μm 級微缺陷不再漏網(wǎng)。
用得穩(wěn):工業(yè)級溫控、緩啟緩滅、強制風(fēng)冷,長期高負荷不掉鏈。
調(diào)得靈:多角度 + 寬幅調(diào)光,一臺滿足多材質(zhì)、多工位檢測。
更省錢:長壽命光源 + 低維護,大幅降低質(zhì)檢綜合成本。